Eye & Health Care NIDEK CO., LTD.

  1. ホーム
  2. > 製品情報
  3. > コーティング分野
  4. > 光学フィルター・赤外コーティング関連
  5. > 光学フィルター
  6. > 真空紫外線( 200 nm 以下)用ミラー
コーティング

真空紫外線( 200 nm 以下)用ミラー

ここから先のページは、日本国内の医療関係者を対象として当社の医療向け製品情報を提供しております。
国外の医療関係者、および一般の方に対する情報提供を目的としたものではありませんので、対象外の方は、閲覧をご遠慮ください。

あなたは日本国内の医療関係者ですか?

真空紫外線( 200 nm 以下)用ミラー
  • 真空紫外線( 200 nm 以下)用ミラー

ステッパー、ArF エキシマレーザーなどに

特長

  • 200 nm以下の真空紫外線の波長に対応
  • ArFエキシマレーザー用に利用可能
  • MIL-48497A試験をクリアし、湿度に強いミラーを実現

機能・性能

光学特性




特性

試験条件:MIL-48497A 準拠

項目試験条件結果
付着力テープ剥離 1回異常なし
摩耗性布 0.45 kg荷重 50往復キズなし
温度試験-62.2℃ → 71.1℃ 各2 h異常なし
溶解性アセトン → エチルアルコール 各10分浸漬異常なし
塩水溶解性水3.8 kg 塩170 g 室温 24 h浸漬異常なし
耐湿性50℃ 95%RH 24 h異常なし
水溶性蒸留水 室温 24 h浸漬異常なし
項目試験条件結果
損傷閾値15 ns パルス1.0 J/cm²以上

使用基材:石英ガラス(厚さ:8 mm)
※特性は参考値であり、保証値ではありません

使用例

・ステッパー、ArFエキシマレーザーなど

お問い合わせ

詳細資料ダウンロード

お問い合わせ

Webからのお問い合わせはこちら

新しいウィンドウで開きますこの製品に関するお問合せ

ページの先頭へ