フラットネステスター
FT-17
斜入射干渉法フラットネステスター
特長
・半導体用ウェーハ(シリコン、化合物、酸化物、ガラス)、ハードディスクドライブ(HDD)用磁気ディスク(アルミ、ガラス)、産業用金属片、任意形状等のサンプル測定が可能です。
・サンプルは粗面から鏡面、透明体や穴あき、異型まで幅広く対応します。
・レーザ光斜入射干渉計による干渉縞を位相シフト法により画像解析することで、種々のサンプルをデジタル計測できます。
機能・性能
装置の詳細情報
- レーザ光による全面一括解析により、短時間で測定データを取得。
- 測定結果は、測定値、等高線図、鳥瞰図、断面図等として表示可能。
- 多重干渉縞に対応した独自の位相シフト解析。
- 専用解析装置によるシステム制御でのイージーオペレーション(OS Windows ベース)。
- 操作画面は日本語または英語で表示が可能
- 透明体サンプルについて、解析はもちろん裏面干渉を低減させた測定を行うことが可能。
- 外周除外領域の変更等、一度測定を行ったサンプルデータをもとに再計算が可能。
- お客様サンプルの使用前点検を行うのみで、特別なキャリブレーションは不要。
豊富なオプション群
- ウェーハ、ディスク、角型サンプル、任意形状等各々のソフト設定を切り替えで使用可能。
- ウェーハソフトでは独自のバキュームチャックを使用し、高精度GBIR(TTV)測定が可能。
- 半導体業界で要求の高いステッパーシミュレーション、ストレス解析ソフト。
- 部分測定対応に任意エリアソフト。
- 使用用途に応じた豊富な受台。
サンプル測定について
装置評価として、サンプル測定を随時承っております。
ご用命は、右上の「お問い合わせ」にお進みいただき、お問い合わせ内容欄に「FTサンプル測定依頼」と入力し、お送りください。
差し支えなければ、サンプル情報(材料、大きさ、厚さ等)もご入力ください。
表示例
資料請求
仕様
*注1:一般的な測定条件詳細については、お問い合わせください。