フラットネステスター
FT-17

その他 産業用検査機器分野 平坦度測定機

ここから先のページは、日本国内の医療関係者を対象として当社の医療向け製品情報を提供しております。
国外の医療関係者、および一般の方に対する情報提供を目的としたものではありませんので、対象外の方は閲覧をご遠慮ください。


フラットネステスター
FT-17

その他 産業用検査機器分野 平坦度測定機

斜入射干渉法フラットネステスター

特長

・外径φ130mm以下のサンプル測定が可能です。(平坦度測定はφ100mm以下)
・半導体用ウェーハ(シリコン、化合物、酸化物、ガラス)、ハードディスクドライブ(HDD)用磁気ディスク(アルミ、ガラス)、産業用金属片、任意形状等のサンプル測定が可能です。
・サンプルは粗面から鏡面、透明体や穴あき、異型まで幅広く対応します。
・レーザ光斜入射干渉計による干渉縞を位相シフト法により画像解析することで、種々のサンプルをデジタル計測できます。

機能・性能

装置の詳細情報
  • レーザ光による全面一括解析により、短時間で測定データを取得。
  • 測定結果は、測定値、等高線図、鳥瞰図、断面図等として表示可能。
  • 多重干渉縞に対応した独自の位相シフト解析。
  • 専用解析装置によるシステム制御でのイージーオペレーション(OS Windows ベース)。
  • 操作画面は日本語または英語で表示が可能
  • 透明体サンプルについて、解析はもちろん裏面干渉を低減させた測定を行うことが可能。
  • 外周除外領域の変更等、一度測定を行ったサンプルデータをもとに再計算が可能。
  • お客様サンプルの使用前点検を行うのみで、特別なキャリブレーションは不要。
豊富なオプション群
  • ウェーハ、ディスク、角型サンプル、任意形状等各々のソフト設定を切り替えで使用可能。
  • ウェーハソフトでは独自のバキュームチャックを使用し、高精度GBIR(TTV)測定が可能。
  • 半導体業界で要求の高いステッパーシミュレーション、ストレス解析ソフト。
  • 部分測定対応に任意エリアソフト。
  • 使用用途に応じた豊富な受台。
サンプル測定について

装置評価として、サンプル測定を随時承っております。
ご用命は、右上の「お問い合わせ」にお進みいただき、お問い合わせ内容欄に「FTサンプル測定依頼」と入力し、お送りください。
差し支えなければ、サンプル情報(材料、大きさ、厚さ等)もご入力ください。

表示例

*各画像をクリックすると拡大画像が表示されます。

 

1. ウェーハ

 

2. ディスク ※FT-17のみ

 

3. 角型

 

4. 任意形状

 

5. ウェーハ用ステッパーシミュレーション  (オプション)

 

6. ウェーハ用ストレス解析  (オプション)

 

7. 任意エリア(オプション)

8. 厚さむら解析(オプション) ※FT-900のみ

資料請求

お問合せとカタログのご請求は、以下のURLからお問合せください。

 

https://www.nidek.co.jp/contact/

仕様

*注1:一般的な測定条件詳細については、お問い合わせください。